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    沈阳科友真空技术有限公司公告
    磁控溅射镀膜设备

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    非平衡磁控溅射与多弧离子镀及CVD复合镀膜系统

    2017-03-17 点击量:

    1. 适用于镀超硬纳米膜、自润滑膜等许多膜系
    2. 设备可单独安装弧源或磁控靶,也可弧源与磁控靶共同安装,可根据用户的工艺要求配置
    3. 采用自动控制系统,将镀膜前后、镀膜工艺过程和停机过程自动运行等集成于一体,可将工艺过程存储为生产记录,并选择设置好的工艺菜单。

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