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磁控溅射镀膜设备

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JGC550太阳能薄膜多靶磁控镀膜设备

2017-03-17 点击量：

1. 根据工艺要求可以镀制ITO、太阳能电池薄膜和金属薄膜
2. 配衬底轨道小车传输机构；衬底加热温度可根据客户要求设计
3. 配有条形离子源，用于清洗样品
4. 配有计算机控制系统。

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JGC550太阳能薄膜多靶磁控镀膜设备

1. 根据工艺要求可以镀制ITO、太阳能电池薄膜和金属薄膜 2. 配衬底轨道小车传输机构；衬底加热温度可根据客户要求设计 3. 配有条形离子源，用于清洗样品 4. 配有计算机控制系统。

1. 根据工艺要求可以镀制ITO、太阳能电池薄膜和金属薄膜
2. 配衬底轨道小车传输机构；衬底加热温度可根据客户要求设计
3. 配有条形离子源，用于清洗样品
4. 配有计算机控制系统。