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    沈阳科友真空技术有限公司公告
    化学气相沉积设备

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    热丝CVD

    2017-02-16 点击量:

    1. 在超高温度下采用CVD方式沉积类金刚石薄膜
    2. 与美国西南研究院共同研制开发,采用等离子体增强技术,提高膜层质量
    3. 配有离子源,实现镀膜预处理与镀膜辅助沉积

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