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电子束蒸发镀膜

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DZD500A/800A/900型电子枪蒸发镀膜机

2017-03-04 点击量：

1. 用于完成金属特别是难熔金属及一些氧化物材料的镀膜，可镀制光学薄膜、金属薄膜、半导体薄膜及其他一些高温下不分解材料的薄膜；有电阻蒸发源镀制一些金属等材料
2. 工件架有加热烘烤功能，配有离子源，完成基片在线清洗和镀膜中的辅助沉积
3. e型电子枪和多对水冷式电阻蒸发源，电子枪功率可选，多组阻蒸发源交替蒸发
4. 采用PLC和触摸屏集中控制系统，工艺灵活设置，有互锁保护和报警功能

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